M.Sc. Martin Kommer
| Thema der Dissertation: | Korrelation zwischen Plasma- und Schichteigenschaften beim System Mo-N bei dc-MS- bzw. HiPIMS-Plasmaabscheidungen |
| Promotion zum: | Dr. -Ing. |
| Betreuer: | Prof. Dr. Frank Schmidl |
| Termin der Disputation: | 6. November 2018 |