Dipl.-Phys. Matthias Wurm
| Thema der Dissertation: | Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-ScatterometerExterner Link |
| Promotion zum: | Dr. rer. nat. |
| Betreuer: | Prof. Dr. Andreas Tünnermann |
| Termin der Verteidigung: | 11. November 2008 |