Dipl.-Phys. Matthias Wurm

Thema der Dissertation: Über die dimensionelle Charakterisierung von Gitterstrukturen auf Fotomasken mit einem neuartigen DUV-Scatterometer
Promotion zum: Dr. rer. nat.

Betreuer: Prof. Dr. Andreas Tünnermann

Termin der Verteidigung: 11. November 2008
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